TDM-300/TDM-200(Pro)多通道膜层监控仪-石家庄威泰科技有限公司

详细：

TDM-300/TDM-200(Pro)多通道膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合，可对共沉积镀膜进行多源同步监控，或对大面积镀膜进行多点监控。

仪器提供了完备的监测和控制功能, 具有高速高精度测量系统，保证镀膜的质量和重复性。通过液晶显示屏使您能连续获取沉积数据，包括沉积速率、厚度和晶片频率。更可通过计算机得到实时数据及动态和静态数据曲线，方便用户对工艺过程进行分析。

▲ 适用于多种镀膜应用

TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪可对最多六个沉积源同时进行监控。既可应用于对大面积镀膜进行多点监控，监控镀膜均匀性；也可用于监控共沉积镀膜，而且用户可以编辑含有若干共沉积层和单一材料层的膜系；还能作为多台顺序沉积监控仪使用。

▲ 多种监控方式

可以对连续镀膜以自动或手动两种方式进行监控。

▲实现多源监测

可同时或分别监测二、四或六个沉积源。用户可根据实际需要进行选型。

▲强大的系统接口

具有一组共二、四或六个输出接口，可分别控制二、四或六个源挡板。用户可根据实际需要

进行选型。

▲高度重复性

具有高速高精度测量系统，保证镀膜的质量和重复性。

▲大容量数据存储

提供了较高的数据存储能力,可存储99个膜层，并内置256种材料参数方便用户使用。

▲全中文人机界面

TDM-300/TDM-200(Pro)膜层监控仪采用全中文人机操作界面,易于使用。

▲安装方便

备有适配电缆，易于安装至现有的装置中，方便替换其它制造厂的产品。

规格

测量

频率计算精度　0.1Hz/0.03Hz(在6.0MHz频率时)

频率显示精度　0.1Hz

测量速率　　　10Hz

显示

厚度显示　000000Å～999999Å

速率显示　000.0～999.9Å/s

时间显示　00:00:00～23:59:59（时:分:秒）

层数　　　01～99层

图形显示　240x64LCD，低功耗LED背光（TDM-200 PRO）

　　　　　320x240LCD,低功耗LED背光（TDM-300）

存储能力

层　　　99层

材料库已定义256种材料

膜层参数

层次　01～99

终厚　000000～999999Å

材料　分子式

密度　00.00～99.99g/cm3

工具因子　00.00～99.99

Z因子　00.00～99.99

探头　A、B（C、D、E、F可选）

同步沉积 “否”或 “是”

系统参数

镀膜方式 “单层”、“多层”

控制方式 “手动”、“自动”

启动延迟 00:00～99:99(分:秒)

多通道方式 “独立”或“联合”

输出控制能力

源挡板数量　2、4或6个可选

　　　　　　(探头挡板可共用相应端口)

监控能力

源　　　2/4/6 (可选)

通信

通讯接口　　标配RS-232串型口

其它

供电要求　220V（±5%），50Hz，

　　　　　功率<30W

工作温度　0℃～50℃

仪器尺寸　TDM-200 PRO：

　　　　　89 x 484x330（高x宽x深）

　　　　　TDM-300：

　　　　　133.5x484x330（高x宽x深）

　　　　　可用于19’标准工业机架。

仪器重量 5.0Kg/6.0Kg

公司公告

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